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光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项高级氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、****等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生**自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。
（2）有害气体异味，初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时，氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2-），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2 等氧聚集的离子群，具有氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水； O2+e（3.6eV）→?O+O H2O+e（5.09eV）→?OH+HO+?OH→?OH2
（3）研究表明：活性自由基?OH 的氧化电位（2.8eV）比氧化性极强的臭氧的氧化电位（2.07eV）还高出35％。?OH 自由基与有机物的反应速度高出几个数量级。而且?OH自由基对氧化污染物的反应是无选择性的，可引发链式反应，直接将污染空气中的大部分有害物质氧化为二氧化碳和水或矿物质。
